СТ РК 2.224-2011 (ГОСТ Р 8.643-2008, MOD) Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн от 10 нм до 30 нм.Методика поверки
1. Область применения
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения - ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн от 10 нм до 30 нм (далее - ЭУФ-рефлектометры).
Измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне ЭУФ проводят для определения эффективности зеркал и дифракционных решеток при контроле технологических процессов формирования многослойных наноструктур. В качестве источников ЭУФ-излучения используют источники синхронного излучения, переходного излучения и излучатели типа....
Категория: ГОСТы
Документ платный
Цена: 2400 Тенге
Открыть полный доступ
