ГОСТ 8.592-2009 «Государственная система обеспечения единства измерений.Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния.Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления»
Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее - рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.
Категория: ГОСТы
Документ платный
Цена: 2400 Тенге
Открыть полный доступ
